新款8英寸安賽斯可編程勻膠機

產品介紹：

名稱：可編程勻膠機

型號：HC220SE（新款）

應用：新款8英寸安賽斯可編程勻膠機，是專業為8英寸及以下晶圓旋涂制膜設計（尺寸向下兼容）。采用高效、節省空間的設計；全彩觸屏操作；高級PLC控制；化學兼容性；高精度，高重復性。增加真空度實時數顯，真空壓力可調。

產品概述：

新款8英寸安賽斯可編程勻膠機是一種用于制備高質量均勻薄膜的實驗室設備。它的工作原理是將膠液滴加到旋轉的襯底表面上，勻膠機高速旋轉產生離心力使膠液均勻分布在襯底表面，形成一層納米級或微米級的均勻薄膜。

新款8英寸安賽斯可編程勻膠機，采用高效、節省空間的設計；全彩觸摸屏操作；高級 PLC 控制； HDPE旋涂內腔，化學兼容性；伺服工業電機，高精度，高重復性，適合晶元尺寸范圍直徑5~220mm。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。

產品特點：

● 設計緊湊，占地面積最小化；

● HDPE高分子材料旋涂內腔，耐腐蝕，具有化學兼容性；

● 全彩色8英寸觸摸屏，易學易用，方便操作；

● 高級PLC自動程序控制，可快速旋涂和多步編程旋涂，運行狀態實時顯示；

● 采用電機異位驅動結構，具有電機防進膠保護功能；

● 防進膠設計，管道易疏通設計。保護旋轉電機不進膠，意外進膠易于疏通；

● 旋轉速度、加速度、時間、真空泵關/停、自動吸片、自動釋放均可在觸屏上操作；

● 真空安全檢測互鎖，當真空度不足時，設備自動停止運行，防止飛片，確保安全。此功能可以在“設置"中關閉；

● 蓋子安全互鎖，當蓋子開啟時，設備自動停止運行，并彈出提示，確保安全。此功能可以在“設置"中關閉；

● 真空度實時數顯，真空壓力可調節；

● 帶4路自動點膠接口，最多可升級4路自動點膠；

● 可設置用戶密碼保護功能；

技術參數：

● 適用晶元尺寸范圍：直徑 5~220mm（更大尺寸可定制）；

● 旋涂速度：0~10000rpm（更高速度可選）；

● 轉速分辨率：0.1rpm；

● 旋涂加速度：0-30000rpm/s；

● 最大旋涂時間：3000s；旋涂時間精度：0.1s；

● 內腔直徑258mm，內腔采用獨特的凹面防濺設計；

● 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序100步；

● 設備尺寸：445mmX300mmX300mm(長寬高)；

● 重量：20Kg；

● 功率要求：800W；

● HCV500無油真空泵，真空度-92KPa，抽氣速度90L/min；

● 電源輸入：AC200-230V

8英寸可編程勻膠機HC220SE，標準配置包含1臺無油真空泵和3只常規載物盤，更多產品信息，請聯系安賽斯工作人員，